| 2-3-1 | 精密ラップ研削機 ラポテスターGP2型 |
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ラポテスター2型 MG-822GP2
【概要】
研究目的に合わせ様々な条件下での研磨・研削を可能とするラップ研削機です。 切込方式は、強制切込方式と定圧研磨方式とが選択でき、上定盤・下定盤共に独立で駆動が可能です。 新材料の研削･研磨加工はもとより、組織観察用試料の作製や高精度鏡面研磨、CMPなど多岐にわたる加工条件テストが可能です。 オプションでELIDユニットの搭載が可能です。 |
| ●下ラップ | |
| 電動機 | 三相200V 1.5kW |
| 回転数 | 0～500r/min（無段変速） |
| 下定盤径 | 200D㎜（オプションにて真空チャック取付可） |
| ●上ラップ | |
| 電動機 | 三相200V 1.5kW |
| 回転数 | 0～2,000r/min（無段変速） |
| 上定盤径 | 100D㎜（オプションにて真空チャック取付可） |
| ●加圧装置 |
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| ①定圧研磨 | 低摩擦シリンダ（加圧範囲：9.8～784N） |
| ②強制切込 | ステッピングモータ（最小切込設定値：0.01μm） |
| ●上ラップ揺動 | |
| 送りモータ | 単相200V 25W |
| 送り速度 | 50㎜/min |
| 機体寸法 | W1,000×L1,100×H1,750㎜ |
| 本体質量 | 約700㎏ |