ラポテスターGP2型(MG-822GP2)
精密ラップ研削ラポテスターGP2型(MG-822GP2)
〔概 要〕
本機はラップ研削、研磨(強制切り込み・定圧研磨)方式が1台でできるので、新しい材料の研削・研磨加工及び加工条件テストなどが可能な装置です。
〔特 長〕
1)ワンチャッキングで粗研削からラッピング・ポリシングの複合研削・研磨加工が可能です。(ラップ研削=強制切込・定圧研磨)
2)ワークを下部にラップ工具を上部に取付、ラップ圧力を任意にコントロールできます。(9.8~784N)
3)ワークサイズΦ200㎜の鏡面加工が可能です。
4)ワーク部・ラップ部に真空チャックの取付も可能です。(オプション)
〔用 途〕
シリコンウエハ、ハードディスク用基板(結晶化ガラス)、水晶振動子、メカニカルシール、ブロックゲージ、その他電子・光学部品の精密研削・研磨。
〈セット例〉
■本体
1)ラポテスターGP2型(MG-822GP2)本体:1台
2)フランジ:1個
3)標準工具:1式
■オプション(選択)
●研削方式
4)下部ラップ用真空チャック(Φ200㎜):1枚
5)上部ラップ用真空チャック(Φ100㎜):1枚
6)クーラントタンク:1台
7)ダイヤモンドカップホイル(Φ100㎜、Φ125㎜、Φ150㎜):各1個
●遊離砥粒方式
8)サーフェス定盤(鋳鉄)Φ200㎜:1枚
9)サーフェス定盤(MF銅)Φ200㎜:1枚
10)サーフェス定盤(MF錫)Φ200㎜:1枚
11)マジックプレート(Φ200㎜):1枚
12))ポリシングクロス(Φ200㎜)硬質 5枚入り:1組
13)ダイヤ液噴射装置(MKL-151-F):1式
●ELID方式
14)ELID電極ユニット:1式
15)ELID電極装置:1式
16)鋳鉄ボンド式ダイヤモンドカップホイール(Φ100㎜、Φ125㎜、Φ150㎜):各1個
17))クーラント装置(濾過装置付き):1式
※研磨目的、試料の加工条件などにより、それぞれ適切な組合せが異なります。詳細はお問い合わせ下さい。
※ELID=電解インプロセスドレッシング
基本スペック
項目 | 基本スペック |
---|---|
主電動機 | 三相200V 1.5kW |
下ラップ盤回転数 | 0~500min⁻¹(無段変速) |
下ラップ定盤直径 | Φ200㎜ |
真空チャック | 取付可能(オプション) |
加圧装置①定圧研磨 | 低摩擦シリンダーによる加圧
|
加圧装置②強制切込 | ステッピングモータによる切込み
|
ワークの大きさ | Φ100㎜ |
ワークモータ | 三相200V 1.5kW |
ワーク回転数 | 0~2,000min⁻¹(無段変速) |
真空チャック | ワークが取付可能な構造(オプション) |
左右送りモータ | 200V 25W |
左右送り速度 | 50㎜/min(1/150) |
機体寸法 | 約W1,000㎜×L1,100㎜×H1,750㎜ |
機体質量 | 1,000㎏ |