CCD搭載ステップカッター･モニターシステム(ステップカッター用)

CCD搭載ステップカッター･モニターシステム
(ステップカッター用)

〔概　要〕
ステップカッター機(MC-171)にCCDカメラとモニタディスプレイを搭載し､微小部品のオンラインカット及び正確な位置決めを可能にしました。

〔特　長〕
1)モニターに切断部の試料表面が鮮明に映し出されます。
2)試料台をY軸､θ方向に微調整移動させ位置決めを行います。
3)切断は浅切込み､最小約10μm設定可能です。

〔用　途〕
1)単結晶材料の方位切断。
2)電子部品の位置指定切断。
3)ウエハ､パターン印刷面の微細切断。